设备介绍
CMC SCJ3000 SNOW-JET 是全自动干式 CO₂ 精密清洗设备,依托 CO₂ 相变雪花清洗原理, 高压液态 CO₂ 膨胀生成微米干冰雪花,通过物理冲击、低温脆化、升华剥离、静电中和四重作用 清除晶圆污染物,清洗后完全气化无残留,无需漂洗烘干。
整机采用模块化设计,分为全自动晶圆传输单元与恒温工艺清洗单元,搭载西门子 S7-1500 PLC、 Profinet 工业总线与定制可视化 HMI 系统,支持 4/6/8 寸硅片、SiC、蓝宝石、砷化镓等多种基板加工。 设备具备自动上下片、光学预对中、多轴联动扫描、在线颗粒监测、全工艺数据追溯、多级安全联锁功能, 可全自动量产,同时配套独立数据采集系统,支持 OPC UA 对接工厂 MES,满足半导体产线数字化管控需求。
应用领域
- 半导体前道 FEOL:离子注入碳化胶去除、CMP 后清洁、高纵横沟槽颗粒 / 有机残渣清洗
- 先进封装 / 3D IC:HBM 切割后除尘、UBM 凸点、晶圆键合前界面洁净处理
- MEMS & 化合物半导体:SiC 功率器件、GaAs 射频芯片、微型结构无损清洗
- 光电子光学器件:光芯片、光学镀膜基板、精密光学元件除油脂颗粒
- 科研研发:高校、实验室各类薄膜、小尺寸衬底样品精密清洗
产品优势
真正无损清洗
全干式无液体、无表面张力,杜绝高纵横比图案坍塌;单片清洗仅 10-60 秒,省去水洗、IPA 烘干工序。
绿色低成本
仅使用 CO₂ 介质,无化学溶剂、无废液危废处理成本,大幅降低耗材与环保处置支出。
数字化可追溯
全流程自动采集温度、压力、转速等工艺参数,生成历史曲线,支持 CSV 数据导出。
全自动高稳定量产
四片盒双清洗腔连续作业,伺服机械手 + 视觉对中,碎片率极低,在线颗粒实时检测。
产线适配性强
整机占地紧凑,腔体达 Class1 无尘等级,三级权限管理,可对接 MES 实现智能制造联动。
