设备介绍
VHP(Very High Productivity,超高产能)是面向 cluster 型多腔室真空平台的双刀片晶圆传送机械手, 装在平台中央的传送腔(Transfer Chamber)内,在高真空环境下完成各工艺腔之间的晶圆传送。 其核心是双刀片设计:两片刀在传送腔内 180° 对置,机械手转到工位后,先用空刀取出已完成的晶圆, 再转 180° 用另一刀把待处理晶圆放进去——一次进腔完成取放,省掉单刀片必须多跑一趟的空程。
电控系统为全新设计,采用以太网通讯,TCP/IP 与 Modbus TCP 双协议兼容,协议可按客户上位机定制, 同时可兼容 Endura 5500 原有通讯——老机台可原位替换、操作方式不变。
产品优势
标准工业协议
Modbus TCP 为通用工业协议,客户既有的 PLC、SCADA、MES 可直接对接,无需为设备单独开发专用接口。
协议可定制
客户既有上位机系统无需改动,由本方完成适配对接。
可原位替换
兼容 Endura 5500 原有通讯,替换后产线操作方式不变,无需重新培训。
伺服驱动自研
驱动参数整定与故障诊断均由本方完成,响应及时。
绝对值编码器、免回零
上电即知当前位置,开机与异常复位不需要执行回零动作,缩短恢复时间、消除撞机风险。
网络化诊断
以太网接入使故障定位与远程支持成为可能,售后响应更快。
关键参数
- 伸出 / 缩回平均线速度:300 mm/s
- 伸缩全行程:约 600 mm,全行程伸出用时约 2.0 s
- 旋转速度:22.5 °/s(3.8 rpm),旋转 180° 用时约 8.0 s
